一种用于柔性膜转移的多自由度机械手
联系人： 华中科技大学
所在地：湖北 武汉市
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技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种用于柔性膜转移的多自由度机械手，包括拾取单元、α转动模块、γ转动模块、XYZ三轴平移模块、气路分配单元和视觉定位单元，其中拾取单元具备绕Y轴转动的β转动自由度，并可在轴向和周向上对吸附区域进行调整；α、γ转动模块和XYZ三轴平移模块则分别用于实现机械手绕X轴和Z轴转动的α和γ转动自由度以及XYZ三个方向的平动自由度；气路分配单元执行拾取单元内部各个真空气路的开关控制和真空度检测；视觉定位单元用于实现柔性膜在XY平面内的位置和角度检测以及Z轴方向上的位置检测。通过本发明，可根据柔性膜的特征、尺寸和位置自主调整机械手的空间姿态、转移力和吸附区间，实现对柔性膜的高精度吸取和转移。